2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[11p-D7-1~14] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2015年3月11日(水) 13:30 〜 17:15 D7 (16-207)

14:15 〜 14:30

[11p-D7-4] GeSn/絶縁基板の極低温種付け横方向固相成長法(3) -パルスレーザーアニール・シーディングの検討-

〇松村 亮1, 2、知北 大典1、佐道 泰造1、池上 浩1、宮尾 正信1 (1.九大院システム情報, 2.学振特別研究員)

キーワード:半導体、GeSn、固相成長