[12a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[12a-A29-9] フレキシブル基板上での単結晶シリコンCMOSトランジスタの作製

〇酒池 耕平^{1, 2}、中川 明俊¹、赤澤 宗樹¹、東 清一郎^{1, 3} (1.広大院　先端研, 2.学振特別研究員PD, 3.広大ナノデバイス・バイオ融合科学研究所)

キーワード：CMOS、単結晶シリコン、プラスチック