09:15 〜 09:30
▲ [12a-D14-2] In-situ Monitoring of GaN Film in Process Plasma
キーワード：gallium nitride,etching,plasma-induced damage
講演情報
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.0 Plasma Electronics English Session
[12a-D14-1~7] 8.0 Plasma Electronics English Session
2015年3月12日(木) 09:00 〜 10:45 D14 (16-503)