2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[12a-D5-1~8] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2015年3月12日(木) 10:00 〜 12:00 D5 (16-205)

10:15 〜 10:30

△ [12a-D5-2] C/Ge/Si(100)構造におけるサブ原子層カーボンとGe成長温度のGe薄膜形成への影響

〇(M2)伊藤 友樹1、畠山 真慈1、川島 知之1、鷲尾 勝由1 (1.東北大院工)

キーワード：ゲルマニウム、カーボン、シリコン