[12p-B5-1~8] 次世代強誘電体材料の開発指針

[12p-B5-4] 強誘電体薄膜の圧電MEMS への応用

〇小林 健¹、牧本 なつみ¹、岡田 浩尚¹、高松 誠一¹、鈴木 靖弘¹、伊藤 寿浩¹、前田 龍太郎¹ (1.産総研)

キーワード：PZT、MEMS