16:45 〜 17:45
[12p-C1-13] [薄膜・表面 分科内招待講演] DLC膜の現在と将来展望
キーワード：ダイヤモンド状炭素、成膜プロセス、硬質薄膜
講演情報
一般セッション(口頭講演)
6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜
2015年3月12日(木) 13:15 〜 19:00 C1 (6C-104)
一般セッション(口頭講演)
6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜
2015年3月12日(木) 13:15 〜 19:00 C1 (6C-104)
16:45 〜 17:45
キーワード：ダイヤモンド状炭素、成膜プロセス、硬質薄膜