2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[12p-P17-1~7] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2015年3月12日(木) 16:00 〜 18:00 P17 (総合体育館)

16:00 〜 18:00

[12p-P17-3] イオン注入成長法で作製した圧縮歪みSi/Si1-xCx/Si(001)構造MOSFETの電気特性評価

〇中込 諒1、酒井 翔一朗1、藤原 幸亮1、有元 圭介1、山中 淳二1、中川 清和1、宇佐美 徳隆2、星 裕介2、澤野 憲太郎3 (1.山梨大クリスタル研, 2.名古屋大学, 3.東京都市大総研)

キーワード：半導体