2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[12p-P17-1~7] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2015年3月12日(木) 16:00 〜 18:00 P17 (総合体育館)

16:00 〜 18:00

[12p-P17-6] RFマグネトロンスパッタリング法により作製したSixC1-x混晶薄膜の光学的・構造的特性

〇(M1)楠木 厚毅1、原 広紀1、勝俣 裕1 (1.明大理工)

キーワード：SiC、スパッタリング、混晶