2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[13a-P14-1~14] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 P14 (総合体育館)

09:30 〜 11:30

△ [13a-P14-11] SAB法によるSi/Si接合の界面特性の評価

〇(B)山條 翔二1、森本 雅史1、梁 剣波1、重川 直輝1 (1.大阪市大工)

キーワード：界面準位、表面活性化接合、熱処理