2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[13a-P14-1~14] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 P14 (総合体育館)

09:30 〜 11:30

△ [13a-P14-13] ポリイミドを構造体兼接着剤として用いたマイクロ流体デバイスの作製法

〇小宮山 凌平1、近藤 正大1、宮下 英俊1、李 相錫1 (1.鳥取大学)

キーワード：マイクロ流体デバイス、pHセンサ