2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[13a-P14-1~14] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 P14 (総合体育館)

09:30 〜 11:30

△ [13a-P14-4] ガラス基板上の自己整合四端子平面型メタルダブルゲート低温 poly-Si TFT の制御性

〇大澤 弘樹1、佐々木 駿1、原 明人1 (1.東北学院大工)

キーワード：薄膜トランジスタ、シリコン、多結晶シリコン