[14a-A21-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[14a-A21-3] 水熱合成(K,Na)NbO₃膜を用いたフレキシブル圧電素子の作製と特性評価

〇白石 貴久¹、金子 祈之¹、黒澤 実¹、内田 寛²、鈴木 靖弘³、小林 健³、舟窪 浩¹ (1.東工大院, 2.上智大, 3.産総研)

キーワード：圧電体、フレキシブル、KNN