[14a-A21-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

[14a-A21-4] 複数梁構造を有する圧電MEMS振動発電素子の振動解

〇苅谷 健人¹、吉村 武¹、村上 修一²、藤村 紀文¹ (1.阪府大工, 2.阪府産技研)

キーワード：エナジーハーベスタ、BiFeO3、MEMS