2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月14日(土) 09:00 〜 12:00 A29 (6A-204)

10:00 〜 10:15

[14a-A29-5] n-ウェルの形成のためのGe基板上へのSb拡散

〇米田 亮太1、山本 圭介2、中島 寛2 (1.九大・総合理工学府, 2.九大・産学連携センター)

キーワード：ゲルマニウム、CMOS