2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月14日(土) 09:00 〜 12:00 A29 (6A-204)

11:00 〜 11:15

[14a-A29-8] Si/SiO2界面準位密度と製造環境における絶対湿度の相関

〇浅野 均1、居村 史人1、古賀 和博1、クンプアン ソマワン1, 2、原 史朗1, 2 (1.ミニマルファブ, 2.産総研)

キーワード：界面準位