[14a-C1-1~11] 7.6 イオンビーム一般

[14a-C1-9] Ni表面へのGCIB照射による炭素膜の低温形成

〇中山 大地¹、魚住 裕樹¹、豊田 紀章¹、山田 公¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム、炭素