[14p-A25-1~4] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[14p-A25-1] アンモニアプロセスを用いたBaSi₂薄膜の合成と評価

〇関口 隆史^{1, 2}、山根 久典³、陳 君¹、渡辺 健太郎^{1, 2}、末益 崇² (1.物材機構, 2.筑波大数理, 3.東北大多元研)

キーワード：BaSi2、アンモニアプロセス、EBIC