[14p-A29-1~8] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14p-A29-7] ミニマル装置を使用したリソグラフィ工程の変動要因の解析

〇北山 侑司¹、奥田 修史¹、東野 泰英¹、寶池 広由¹、クンプアン ソマワン^{1, 2}、原 史朗^{1, 2} (1.ミニマルファブ技術研究組合, 2.産総研)

キーワード：ミニマル、リソグラフィ