[14p-C1-1~8] 7.6 イオンビーム一般

[14p-C1-1] シリコン酸化膜へのゲルマニウム負イオン注入と熱処理で形成したGeナノ粒子の酸化状態評価

〇辻 博司¹、加藤 幹雄²、佐々木 智一²、野村 英一³、後藤 康仁¹ (1.京大院工, 2.東芝ナノアナリシス, 3.開発受託21)

キーワード：ナノ粒子、酸化状態、コアーシェル構造