ITO系の特殊ターゲットを展示します。赤外高透過、表面高平坦、低温低抵抗、高抵抗など。

Lake Share社製 THz物性評価システム、東陽テクニカ社製 Resi Test8400, EDMS制御ソフトウェア

TBD

光学フィルター　BP LIVIR, Mirror, ND, Excitation Barrier(紫外、可視、近赤、赤外）

・スパッタリングターゲット材料（薄膜材料）・リチウムイオン二次電池材料（正極材・固体電解質等）・MOCVD材料 ・MODコート材料（酸化物半導体・導電性酸化物・強誘電体等）

スタージェム光学計

オープンクリーンシステムKOACH、静電塗布装置PDR-04、HVA社製手動ゲートバルブ、H-Square社製ハンドリングツール、極低温プローバーパネル

TBD

TBD

●サファイア、ダイヤモンド結晶育成・加工技術 ●精密微細加工 ●小型基板洗浄装置『Ecclear -エクリア』

TBD

高感度CCD/EMCCD/ICCD検出器、無収差型分光器

完全無冷媒MPMS3（磁気特性測定装置）,完全無冷媒PPMSシリーズ（EverCoolII, Dynacool, VersaLab)

分光エリプソメーター、ライフタイム測定装置、DLTS、AFM

卓上型走査電子顕微鏡

■EPIREVO G8 枚葉式200/150mm GaN-on-Si MOCVD装置 ■EPIREVO S6 枚葉式150/100mm SiCエピタキシャル成長装置 ■HT2000FD 枚葉式200mm シリコンエピタキシャル成長装置

Nature Research ポートフォリオをご紹介いたします。今年1月に創刊した月刊オンラインジャーナルNature EnergyとNature Reviews Materials。また、6月にリリースしたNature Research Solutionsからナノテク分野に特化したソリューションデータベースNano。Nanoでは、実際のサイトにアクセスいただけます。

TBD

■真空はんだフロー装置 ■マニュアルプローバー ■真空ガス置換炉高速熱処理装置 ■4深針プローバー ■ワイヤーボンダー ■ダイボンダー

原子層堆積装置 ダイレクトリキッドインジェクションCVD 高温アニール装置