16:15 〜 16:30 △ [18p-Z05-11] 界面欠陥のキャリア捕獲・放出過程を考慮したSiC MOSFETの3レベルチャージポンピング特性解析 〇松谷 優汰1、矢野 裕司1 (1.筑波大数物)