[16a-Z10-1~10] 3.15 Silicon photonics and integrated photonics

△ [16a-Z10-4] Reduction of Absorption Loss of a-Si:H Waveguide on Ce:YIG by Annealing Process

〇Toshiya Murai¹, Yuya Shoji¹, Nobuhiiko Nishiyama¹, Tetsuya Mizumoto¹ (1.Tokyo Tech.)

Keywords:photonic integrated circuit, magneto-optical material, photonic waveguide

磁気光学材料Ce:YIGは、光アイソレータなどの非相反光素子実現に不可欠である。しかし、吸収損失が大きくデバイス特性改善のために、この低減が必要である。今回、Ce:YIG上に形成したa-Si導波路を用いて伝搬損失を測定した。その結果Ce:YIGを800°Cでアニール処理することで吸収損失が1/3程度まで減少することがわかった。本発表では、結果の詳細と、その導波路を用いて作製した高Qリング共振器の特性などについて報告する。