[16a-Z23-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16a-Z23-11] シリサイドの体積弾性率と体積熱膨張係数

〇今井 基晴¹、廣戸 孝信¹ (1.物材機構)

キーワード：シリサイド、熱膨張係数、体積弾性率

本研究では、CoSi₂の熱膨張係数を再評価し、シリサイドの体積弾性率と熱膨張係数の関係を調べた。