[16p-Z29-1~13] 16.1 Fundamental properties, evaluation, process and devices in disordered materials

[16p-Z29-1] Elemental Reactions of Nb₂O₅ RT-ALD Explained by Quartz Crystal Microbalance Measurements

〇(DC)Kazuki Yoshida^1,2, Kentaro Saito^1,2, Masanori Miura³, Kensaku Kanomata³, Fumihiko Hirose¹ (1.Yamagata Univ., 2.JSPS Research Fellow, 3.ROEL Yamagata Univ.)

Keywords:ALD, niobium oxide, room temperature deposition

金属酸化物の表面コーティングは食品包装、有機エレクトロニクスなど幅広く用いられている。Nb₂O₅（酸化ニオブ）は高い耐腐食性能を持つが高温成膜が必要であり、フレキシブルエレクトロニクスでの利用が難しい問題があった。我々はこれまでに室温原子層堆積法(RT-ALD)による酸化ニオブの成膜プロセスを開発し、優れた耐腐食性能が得られることを報告したが、成膜の素反応は未解明であった。本研究では水晶振動子マイクロバランス法(QCM)を用いて酸化ニオブRT-ALD中の水晶振動子表面の質量変化を観察し、成膜モードの確認を行った。さらにサイクル中の質量変化に注目し成膜時の表面反応について議論する。