[16p-Z32-1~16] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[16p-Z32-7] 多結晶SiGe薄膜を用いた平面型ユニレグ熱電デバイスの作製と評価

〇小池 壮太¹、柳澤 亮人¹、黒澤 昌志²、野村 政宏¹ (1.東大生研、2.名古屋大)

キーワード：熱電変換、シリコンゲルマニウム、フォノンエンジニアリング