[17a-Z09-1~7] 3.9 Terahertz technologies

△ [17a-Z09-2] Fabrication and Evaluation of Terahertz Resonant Tunneling Diode Oscillator Integrated with Split-ring Resonator

〇Xiongbin Yu¹, Yusei Suzuki¹, Van Ta Mai¹, Safumi Suzuki¹, Masahiro Asada¹ (1.Tokyo Tech.)

Keywords:Terahertz, Resonant tunneling diode, Split-ring resonator

従来のRTD発振器(Resonant Tunneling Diode: RTD) では，発振回路と直流バイアス回路を分離するためのMIM(metal-insulator-metal)キャパシタが必要であり，作製プロセスが複雑だった．最近，我々はMIMキャパシタを取り除いたRTD発振器を提案し，構造および製作プロセスの簡素化に成功したが ，共振器の損失が大きく1 THzを超える発振は困難だった．そこで，低損失なスプリットリング共振器（SRR）を用いた新たなRTD発振器の提案および理論検討を行い，1 THzを超える発振が可能なことを明らかにした ．今回，設計に基づいてデバイスを作製し1.22 THzの発振を得たので報告する．