[17a-Z15-1~7] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-Z15-3] GCIB支援堆積法で合成したDLC膜の光学定数

〇宮本 黎美¹、西山 昭雄²、吉川 亮太²、田口 純志²、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大、2.株式会社　野村鍍金)

キーワード：GCIB支援堆積法、DLC膜、光学定数