[17a-Z18-1~10] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[17a-Z18-3] Ge水溶液を用いた再結晶化法による結晶GeO₂ナノ粒子の形成

〇(M1)谷口 大介¹、垣内 弘章¹、安武 潔¹、大参 宏昌¹ (1.阪大院工)

キーワード：GeO2、ナノ粒子、ナノ結晶

GeO₂は、SiO₂に比べて、高い誘電率、圧電性など、優れた特性を持つことから、結晶GeO₂ナノ粒子（ncp-GeO₂）は種々の微小デバイスへの応用が期待されるが、従来の形成法では、高価な材料、または高温・真空プロセスが必要とされるという課題がある。本研究では、より安価・簡便な手法として、溶液中での再結晶化法によりncp-GeO₂を形成することを試みている。本報告では、各条件におけるGeO₂ナノ粒子の形成挙動を調査したので、その結果を報告する。