2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-P06-1~11] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2021年3月17日(水) 15:00 〜 15:50 P06 (ポスター)

15:00 〜 15:50

[17p-P06-7] ゾルゲル法で成膜したMgxZn1-xO薄膜の電気的特性に対するポストアニールの効果

安部 功二1、浜田 雄史1 (1.名古屋工業大)

キーワード:酸化亜鉛、透明導電膜