[17p-Z16-1~8] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[17p-Z16-4] Evaluation of Cathodoluminescence from Scintillator Chip by Inverted Electrons

〇Tomoharu Oki¹ (1.Daiwa Techno Systems Co., Ltd.)

Keywords:scintillator, cathode luminescence, SEM

本発表ではチャージアップ現象を利用し、表面にAl膜を蒸着したシンチレータチップにおいて蛍光体のカソードルミネッセンス光を評価する新しい手法について報告する。
チャージアップした絶縁体表面で入射する電子線を反転させ、シンチレータチップへ誘導することでカソードルミネッセンス光を生じさせる。光をビューポートから外部に取り出すことで観察・評価することを可能とした。