[18a-Z05-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

△ [18a-Z05-9] 界面層挿入が低仕事関数金属/n型4H-SiC界面のSBHに与える影響

〇土井 拓馬^1,2、柴山 茂久¹、坂下 満男¹、清水 三聡²、中塚 理^1,3 (1.名大院工、2.産総研・名大GaN-OIL、3.名大未来研)

キーワード：4H-SiC、ショットキー障壁高さ、MIGS