[18a-Z20-1~8] 6.1 強誘電体薄膜

[18a-Z20-1] 有機圧電体P(VDF-TrFE)の電気特性の溶媒依存性評価

〇平塚 一暉¹、金川 いづる¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大工)

キーワード：圧電体、PVDF

P(VDF-TrFE)は、優れた圧電特性や焦電特性を有する代表的な強誘電ポリマーである。我々は、数mmの膜厚を有するP(VDF-TrFE)薄膜を用いて高感度な圧電MEMS超音波トランスデューサー(pMUT)の実現を目指している。P(VDF-TrFE)においては、膜中に多くの欠陥が存在し、電圧印加によって多くの電荷がトラップされると報告されている。そこで本研究では、薄膜を作製する際に用いる溶媒が、P(VDF-TrFE)の微構造や電気特性に及ぼす影響について調べた。