[18p-Z09-1~14] 3.9 Terahertz technologies

△ [18p-Z09-14] Fabrication of Bull’s Eye Structure for Terahertz Waves by Micromachining

〇Kaoru Imai¹, Taiyu Okatani¹, Yuma Takida², Seigo Ohno^1,2, Yasuaki Minamide², Yoshiaki Kanamori¹ (1.Tohoku Univ., 2.RIKEN)

Keywords:terahertz wave, enhanced transmission, atomic layer deposition

サブ波長サイズの解像度でテラヘルツ波を取り出す方法の1つであるブルズアイ構造を、シリコン基板に原子層堆積法（Atomic Layer Deposition : ALD）によってPtをコーティングして製作を行った。ALDはスパッタリングと比較して凹凸や円孔の側壁にも成膜しやすく、表面プラズモンの効果が強くなり、透過率の向上が期待できる。テラヘルツパラメトリック光源を用いて透過率を測定し、ブルズアイ構造特性を確認した。