[18p-Z09-1~14] 3.9 テラヘルツ全般

△ [18p-Z09-14] マイクロマシニング法によるテラヘルツ波用ブルズアイ構造の製作

〇今井 薫¹、岡谷 泰佑¹、瀧田 佑馬²、大野 誠吾^1,2、南出 泰亜²、金森 義明¹ (1.東北大、2.理研)

キーワード：テラヘルツ波、透過率向上、原子層堆積法

サブ波長サイズの解像度でテラヘルツ波を取り出す方法の1つであるブルズアイ構造を、シリコン基板に原子層堆積法（Atomic Layer Deposition : ALD）によってPtをコーティングして製作を行った。ALDはスパッタリングと比較して凹凸や円孔の側壁にも成膜しやすく、表面プラズモンの効果が強くなり、透過率の向上が期待できる。テラヘルツパラメトリック光源を用いて透過率を測定し、ブルズアイ構造特性を確認した。