[18p-Z16-1~16] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

[18p-Z16-1] Schottky Contact between Au Electrode and Solution-processed IGZO or IZO

〇Takaaki Morimoto¹, Yasufumi Yamakawa¹, Keisuke Ishii¹ (1.The National Defense Academy)

Keywords:Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy(UPS), Transparent Semiconductor

溶液法IGZO, IZO薄膜にAlとAuの両方を蒸着して薄膜トランジスタを作製した。ドレインをAu、ソースをAl電極とすると、ゲート電圧が正の時にドレイン電流が流れる一方、ソース、ドレインを入れ替えるとドレイン電流は大幅に減少する。UPS測定より、薄膜とAl電極間がオーミック、Au電極間がショットキー接触している可能性が示された。