[18p-Z17-1~20] 8.1 Plasma production and diagnostics

[18p-Z17-12] Generation of Planer Thermal Plasma Jet by Diode Rectified AC Arc

〇Manabu Tanaka¹, Yuta Kugimiya¹, Takuya Suenaga¹, Takayuki Watanabe¹, Tsugio Matsuura² (1.Kyushu Univ., 2.Taso Arc Co.)

Keywords:thermal plasma, plasma jet, fluctuation phenomena

革新的なプレーナー熱プラズマ場を構築し，その変動現象を解明することを目的とした．ダイオード整流を用いた多電極交流アークを発生させることで，二次元の平面熱プラズマ流を発生させることに成功した．高速度カメラによる観察の結果，ミリ秒オーダーでの交流周期に基づく変動が観測された．本研究で構築した熱プラズマジェット流を用いることで，基板表面の大面積熱処理技術の確立が望まれる．