2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-Z33-1~17] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2021年3月18日(木) 13:00 〜 18:00 Z33 (Z33)

山本 哲也(高知工科大)、井手 啓介(東工大)、嶋 紘平(東北大学)

17:00 〜 17:15

[18p-Z33-14] ミスト CVD 法による高 Mg 組成 Ni1-xMgxO 薄膜のエピタキシャル成長

〇(M1)孫 芸華1、池之上 卓己1、三宅 正男1、平藤 哲司1 (1.京大院エネ科)

キーワード:ミスト CVD 法、NiMgO