[18p-Z33-1~17] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-Z33-5] 合成石英基板上に成長した岩塩構造 MgZnO 微結晶の真空紫外域での発光特性

〇高坂 亘¹、星 翔馬²、工藤 幹太¹、猪狩 有生¹、金子 健太郎²、山口 智弘¹、藤田 静雄²、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大学、2.京大院工)

キーワード：岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛、電子顕微鏡-カソードルミネセンス、カソードルミネセンス

ミストCVD法により、合成石英基板上に岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛を成長した。SEM-CL測定、CL測定、透過率測定によって、合成石英基板上の岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛の発光特性を評価した結果を報告する。