[19a-P01-1~5] 7 ビーム応用(ポスター)

[19a-P01-1] 15 keV－Ar⁶⁺イオンビーム入射時にガラス円筒面チャネルから出射したArイオンの運動エネルギー分布

高橋 遼平¹、萩原 史也¹、岩瀬 詞音¹、〇本橋 健次¹ (1.東洋大理工)

キーワード：多価イオン、イオンビームガイド

1.2 mmの隙間を挟んで光学用ガラス円筒凸レンズと凹レンズを対向させたガラス円筒面チャネル内に、15 keVのAr⁶⁺イオンビームを入射した際の、出射イオンの価数と運動エネルギーを、飛行時間と電界による変位で間接測定した。その結果、チルト角－2°～＋2°の範囲で多くのイオンが入射時の価数と運動エネルギーを保持し、最大で約0.18°偏向した。また、幾何学的に出口が完全にふさがれる±3°のチルト角でも、約22％の粒子が出射した。