[19a-Z02-1~8] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

△ [19a-Z02-6] Fluorescence particle counter for distinction of spurious counts

〇Yuki Kuruma¹, Takayuki Sakaguchi¹, Hiromu Sakurai¹ (1.AIST)

Keywords:Particle measurement, Number concentration of liquid-borne particles, Spurious count

200 nm粒径域での液中粒子数濃度一次標準確立のため，単一粒子光散乱法に基づく液中粒子数濃度測定の高精度化に取り組んでいる．高精度化実現のためには，計数対象ではない粒子を誤って計数する偽計数の発生原因解明とその低減化が必要である．偽計数の発生原因解明のため単一粒子光散乱法での偽計数識別を可能とする，蛍光粒子センサと多チャンネル波高分析器を組み合わせた蛍光粒子計数器を開発し，その性能評価を行った．