[19a-Z15-1~10] 6.4 Thin films and New materials

[19a-Z15-8] Piezoelectric Characterization of Epitaxial Pb(Zr_0.52, Ti_0.48)O₃ Thin Films on Flexible Printed Circuit

〇Tomofumi Mizuyama¹, Norimitsu Hirosaki², Tsutomu Nishigaki³, Hiroaki Nishikawa³ (1.Grad. Sch., Kindai UniV, 2.Taiyo Industrial Co., LTD., 3.Kindai Univ.)

Keywords:Pb(Zr0.52,Ti0.48)O3, Epitaxial Thin Films, Flexible Printed Circuit

我々は、張り付けるだけで超音波画像を観察可能な，フレキシブルなウェアラブル超音波シートの開発を目指している．これまでに，外部回路との接続が容易なフレキシブルプリント基板(FPC)上にエピタキシャルPZT薄膜を転写するプロセスを確立してきた．本研究では，転写プロセスによって作製されたフレキシブルなエピタキシャルPZT薄膜の，強誘電特性及び圧電特性評価を行った．