[19p-Z24-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[19p-Z24-10] ミニマルファブを活用したダイヤモンドSBDの試作と評価(III)

〇渡辺 幸志¹、根本 一正¹、三浦 典子²、加瀬 雅¹、谷島 孝¹、野田 周一¹、梅澤 仁¹、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)

キーワード：ダイヤモンド、化学機械研磨、ミニマルファブ