[19p-Z27-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19p-Z27-9] 量子殻/トンネル接合を用いたナノワイヤLD実現に向けたGaN結晶中の不純物ドーピング評価

〇曽根 直樹^1,3、宮本 義也³、伊藤 和真³、山村 志織³、神野 幸美³、勝呂 紗衣³、中山 奈々美³、奥野 浩司^2,3、水谷 浩一²、飯田 一喜^2,3、Lu Weifang³、上山 智³、竹内 哲也³、岩谷 素顕³、赤崎 勇^3,4 (1.小糸製作所、2.豊田合成、3.名城大学、4.名古屋大学)

キーワード：ナノワイヤ、窒化ガリウム