㈱島津製作所は、ターボ分子ポンプ(TMP)とリークディテクタをご紹介します。
小型TMPモデルは、質量分析計、電子顕微鏡や排気セット等に搭載されています。また、スプリットフロータイプでは搭載される装置に合わせたカスタマイズ設計にも対応しています。リークディテクタは、ヘリウムに加え水素による検査にも対応し、搬送系とシステムアップした自動機にも対応しております。