真空科学技術(VST)
2021年11月4日(木) 13:30 〜 14:30 E会場 (直島)
座長:吉田 肇(産業施術総合研究所)
13:30 〜 13:45
*神谷 潤一郎1、高野 一弘1、和田 薫2 (1. 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構、2. 東京電子株式会社)
スケジュール
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13:45 〜 14:00
*中村 孝夫1、黒岩 雅英2、岸川 信介2、辺見 修一2、亀井 龍一郎3 (1. 東京大学 生産技術研究所、2. 東京電子株式会社、3. 誠南工業株式会社)
スケジュール
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14:00 〜 14:15
小川 直樹2,1、*栗巣 普揮2、山本 節夫2 (1. ローツェ(株)、2. 山口大学院創成科学研究科)
スケジュール
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14:15 〜 14:30
*土田 遼介1、ミヤ モハメッド シュルズ1、中野 武雄1、菊地 貴司2、間瀬 一彦2,3 (1. 成蹊大学大学院理工学研究科、2. 高エネルギー加速器研究機構、3. 総研大)
スケジュール
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