[2Dp01-05] 表面分析・応用表面科学・評価技術

[2Dp02S] 多数スペクトルデータを利用した共通ピーク構造の逆推定

*村上 諒¹、庄野 逸¹、永田 賢二²、篠塚 寛志²、吉川 英樹² (1. 電気通信大学、2. 物質・材料研究機構)

X線光電子分光(XPS)において，同一の単相化合物試料を測定しても，装置の違いや実験条件により観測スペクトルの形状が異なる．そのため，未知試料の同定にあたって、異種装置で得られたXPSデータベースにある単相化合物の観測スペクトルの参照方法が作業者に依存する問題がある．本研究では，計測によって揺らいだ多数の観測スペクトルからその揺らぎを排除した共通ピーク構造を推定する手法の開発を行なった．