[2Ep01-04] 真空科学技術

[2Ep02] 0.2%Be-Cu材料で作製した小型真空プロセス容器の特性評価

*中村 孝夫¹、黒岩 雅英²、岸川 信介²、辺見 修一²、亀井 龍一郎³ (1. 東京大学　生産技術研究所、2. 東京電子株式会社、3. 誠南工業株式会社)

0.2%Be-Cuは、SUS対比で13倍の高熱伝導、1/7以下の低熱輻射、低脱ガスなどの特性があり超高真空用真空計に適用されている。半導体多品種少量生産スキームであるミニマルファブシステムでは小型真空容器を使用するが真空容器表面品質のプロセスへの影響が必然的に大きくなる。今回SUS製のミニマル装置の真空容器と同等の容器を0.2%Be-Cu で作製し、真空プロセス容器としての優位性を確認した。