[3Ba01-12] スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会「スパッタ・プラズマで切り拓くナノ構造の世界」

[3Ba05] スパッタ法により作製した磁性金属－セラミックスナノグラニュラー薄膜の磁気誘電特性

*増本 博¹ (1. 東北大学 学際科学フロンティア研究所)

最近，我々のグループでは、磁性金属-セラミックスナノグラニュラー薄膜において、室温で磁場の印加により誘電特性が変化する現象を発見し、「トンネル磁気誘電（TMD）効果」と命名した。磁性金属-セラミックスナノグラニュラー薄膜や磁気誘電特性などのこれまでの研究背景に触れるとともに、TMD効果の原理、スパッタによる薄膜作製法、特性の改良の試みなどについて紹介する。