[3P01-27] ポスター・企業展示

[3P23] Pd、Pd/TiZrVコーティングした銅チューブの排気性能と 放射光刺激脱離の評価

*金 秀光¹、内山 隆司¹、谷本 育律¹、本田 融¹ (1. 高エネルギー加速器研究機構)

非蒸発ゲッター（NEG）コーティングに用いるTiZrV合金は、大気開放中に大量のO₂とH₂Oを吸収する。そのため、大気開放と再活性化を繰り返すと膜の表面付近が酸素リッチになり、排気性能も低下する。解決方法として、Pd層をゲッター材の上に導入し、酸素と水分からゲッター材を保護することが提案されている。本研究ではPd/TiZrV膜を作製し、Pdの排気性能、放射刺激脱への影響を調べた。