Fabrication of Gallium-Oxide Thin Films by Sol-Gel Process

18:30 〜 20:30

[H1-PR18-29] Fabrication of Gallium-Oxide Thin Films by Sol-Gel Process

*Taejun Park¹, Kyunghwan Kim¹, Jeongsoo Hong¹ (1. Gachon Univ. (Korea))

キーワード：β-Ga2O3, Thin film, Power semiconductor, Sol-Gel process, Optical property

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